一种离子光学装置及离子源

Abstract

本实用新型公开了一种离子光学装置及离子源。该离子光学装置包括：腔体、设置在腔体内的加速电极、离子透镜组、质量筛选器和开一孔的挡板。离子透镜组包括至少两个同轴且相对位置固定的单透镜；加速电极在腔体的一个开口处，为中空锥形结构；其锥形尖口朝外且在离子透镜组的轴线上；质量筛选器靠近腔体的另一个开口处，其由沿离子透镜组的轴线平行对称设置的一对导磁结构和沿所述轴线平行均匀磁场、电极产生的均匀电场和所述轴线之间两两垂直；挡板在腔体的另一个开口处，挡板上的孔在离子透镜组的轴线上。本实用新型可实现离子束斑直径连续可调且同时具有离子筛选功能。