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Software brand: 双等离子体离子源的工作特性
Author: 邱春玲
曾小辉
龙 涛
包泽民
王培智
Professional thesaurus: 二次离子质谱;双等离子体离子源;离子光学系统;亮度
Date of first publication: 2013-07-01
Publisher: 中国地质科学院地质研究所 Institute of Geology, Chinese Academy of Geological Sciences
Abstract: 针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的 O -离子束亮度不稳定的问题,设计和 搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以 SHRIMP II 上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真 模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对 O -离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定工作在放 电电流大于 50mA,气压为 110~170mTorr 的条件下;当气压为 140mTorr,放电电流为 200mA,磁场强度为 0.25T 时,获得的 O -离子束亮度能够达到 52.4A/cm2·sr。合理控制离子源工作参数,可以增大 O -离子束亮度,提高二次 离子质谱的横向分辨率和灵敏度。
URI: http://www.igeodata.org/handle/20.500.11758/357
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